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从工艺废气到半导体：科蓝环保携等离子水洗尾气处理器亮相2026IICIE
2026年9月9日-11日，2026 IICIE国际集成电路创新博览会（IC 创新博览会）在深圳国际会展中心举办。本届展会汇聚超过 5000 家参展企业，集中呈现芯片及芯片设计、晶圆制造、封装测试、半导体设备、材料及核心零部件等全链条生态布局。
本次参展，科蓝环保聚焦泛半导体行业废气治理需求，重点展示了全新等离子水洗尾气处理器以及面向集成电路、显示面板、光伏电池等多场景、多工艺段的废气治理技术路线。
三天的展会，现场工作人员与多家渠道伙伴进行了深入交流，共同探讨了半导体废气治理的市场机遇与客户痛点。
作为本次参展的核心新品，等离子水汽尾气处理器是科蓝环保针对泛半导体行业废气特性自主研发的设备，采用等离子体高效裂解反应，配合水解洗涤闭环，可高效治理泛半导体行业生产过程中的特气。
值得关注的是，设备结构采用模块化设计，核心部件维保频率低、维保时间短，损耗件耐用性也优异，可以显著降低客户后续的运行负担。
01自研等离子体火炬
基于直流电弧放电原理工作，可提供3000℃以上高温射流，高效分解各类特种废气，且寿命≥6个月。
02等离子电源
炬源一体化自研，适配7 * 24小时连续公款，风冷+水冷散热，还有多重安全连锁保护。
03节水减排
换热器冷却循环水，降低直喷水用量，可大幅削减废水排放，搭载哈氏合金C276板式换热器，换热效率高。
04多制程覆盖适
用于集成电路、显示面板、光伏电池等多制程产线废气治理，实现安全、稳定、达标排放。
泛半导体行业里，废气治理从来不是锦上添花的环节。未来，科蓝环保将持续深耕泛半导体赛道，以高净化效率与低运维成本为核心竞争力，为客户提供稳定可靠的废气治理解决方案。
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发布时间：2025-06-06 15:01
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